透明导电膜 化学汽相沉积

透明导电膜（transparentconductivefilm，简称TCF）目前最主要的应用是ITO膜，还有其他AZO等。ITO薄膜是一种半导体透明薄膜，它是氧化铟锡(indiumtinoxide)英文名称的缩写。有学者将氧化铟系列（In2O22SnO2）也称之为ITO薄膜。作为透明导电电极，要求ITO

透明导电膜（transparent conductive film，简称TCF）目前最主要的应用是ITO膜，还有其他AZO等。

ITO 薄膜是一种半导体透明薄膜 ，它是氧化铟锡( indium tin ox ide) 英文名称的缩写。

有学者将氧化铟系列（In2O 22SnO 2）也称之为ITO 薄膜。

作为透明导电电极，要求ITO薄膜有良好的透明性和导电性。

所以，此类材料的禁带宽度E g 一般都大于3 eV ，其掺杂组分要偏离化学计量比。

ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等，但使用最多的是反应磁控溅射法[ 1，2 ]。

与其它透明导电薄膜相比，ITO 薄膜具有良好的化学稳定性、热稳定性以及良好的图形加工特性。