微导纳米科创板IPO获受理，募资5亿投建集成电路高端装备等项目

微导纳米科创板IPO获受理，募资5亿投建集成电路高端装备等项目我是你爹地 6月22日，上交所正式受理了江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称为“微导纳米”）科创板上市申请。 据招股书显示，微导纳米以原子层沉积（Atomic Layer Deposition，以下简称“ALD”）技术

6月22日，上交所正式受理了江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称为“微导纳米”）科创板上市申请。

据招股书显示，微导纳米以原子层沉积（Atomic Layer Deposition，以下简称“ALD”）技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。

目前，微导纳米已经在光伏领域验证了其核心技术对ALD设备产能的提升作用，并以期将相关技术特点推广至设备结构具备一定共通性的集成电路领域，在保证成膜质量符合客户工艺要求的同时，为客户提供低成本、高产能的解决方案，形成标志性的竞争优势。

与此同时，微导纳米集成电路领域设备样机已开发完成，并实现了 Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、ZnO、Ta2O5、SiO2、TiN 等多种关键工艺材料的薄膜沉积验证，薄膜厚度均匀性等技术参数已经达到集成电路领域使用标准，但受限于生产环境与检测手段等因素，该产品在集成电路标准要求下的颗粒度等关键指标尚有待验证。随着公司集成电路高端装备产业化应用中心的落成，公司产品的生产环境与检测手段将大幅提升，有望突破技术壁垒，实现集成电路制造核心装备的国产化，打破国外厂商的市场垄断。

客户集中度高，面临专利诉讼风险

2017-2019年，微导纳米实现营业收入分别为0元、4,191.06万元、21,581.56万元；实现净利润分别为-891.18万元、-2,919.29万元、4,141.41万元。报告期内，微导纳米主营业务收入主要来自 ALD 设备。2018 年和 2019 年，公司来自于ALD设备的收入金额分别为3,898.03 万元和 20,194.69万元，占主营业务收入的比例分别为 93.02%和 93.59%。

在产品销量方面，2017-2019年，微导纳米ALD设备销量分别为0台、8台和38台。微导纳米称，2019年较2018年销量增幅明显，主要原因系光伏行业在PERC技术的推动下，产线投资大幅增加，公司ALD设备与PERC技术的适配性高，性能好且价格较国外竞争对手大幅度降低，在首台ALD样机获得成功后，迅速打开市场，订单大幅增加。

在客户方面，2017-2019年，微导纳米对前五大客户的销售金额合计分别为0.00万元、4,186.26万元和12,868.90万元，其中，2018年、2019年占公司主营业务收入的比例分别为99.90%、59.64%。 微导纳米称，报告期内，公司对前五大客户的销售收入占主营业务收入的比例较高，主要是由于公司尚处于快速成长阶段，集成电路、柔性电子等其他领域布局较晚，客户积累相对较少，而晶硅太阳能电池片行业集中度较高，公司选择优先对行业前列客户进行开拓。客户集中度较高可能会对公司的生产经营产生不利影响，如果未来部分客户经营情况不利，或选择其他技术路线，从而降低对公司产品的采购，且公司集成电路、柔性电子领域的开拓低于预期，将会影响公司的财务业绩。

同时，微导纳米的客户主要是集中于华东地区，2018年和 2019 年，公司华东地区的销售收入占主营业务收入的比例分别为 97.40%和69.40%。公司销售的区域性与下游客户的区域分布有关，根据 CPIA 的统计，华东地区的晶硅太阳能电池片产能占国内市场的比例超过 50%，公司报告期内主要

客户如泰州中来、顺风光电、阳光中科等均来自华东地区。

另外，微导纳米还面临着专利诉讼风险。2019 年 5 月 9 日，NCD 株式会社以公司生产销售的“AL2O3原子层沉积设备-夸父系列原子层沉积镀膜系统”落入其ZL201110434373.6号发明专利“用于薄膜沉积的方法和系统”的保护范围为由向江苏省苏州市中级人民法院提起诉讼。2020 年 5 月 6 日，江苏省苏州市中级人民法院出具了《民事判决书》（（2019）苏 05 知初 339 号），该判决书驳回了NCD株式会社的诉讼请求。

2020 年 5 月 29 日，NCD 株式会社向最高人民法院提起上诉，请求撤销江苏省苏州市中级人民法院（2019）苏 05 知初 339 号民事判决，发回重审。截至本招股说明书签署日，该案二审尚未开庭审理。微导纳米表示，若 NCD 株式会社上诉后公司于二审中败诉，将会对公司的经营业绩产生一定的不利影响。

募资5亿元！投建集成电路高端装备等项目

据招股书显示，微导纳米拟募资5亿元，投建年产120台基于原子层沉积技术的光伏、柔性电子及半导体设备扩建项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目以及补充流动资金。

其中，年产120台基于原子层沉积技术的光伏、柔性电子及半导体设备扩建项目是基于公司现有 ALD 设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏、集成电路、柔性电子的 ALD 设备，实现年产 120 台 ALD 设备的项目扩产。本项目利用公司现有厂房新硕路 9 号新加坡工业园 B74 号地块 9-6-1、9-6-2、9-7-2 号 进行改造，总装修面积为 5,648.09m2，并新增设备 65 台（套），其中生产设备36 台（套），测试及辅助设备 29 台（套）。

微导纳米称，该项目能够扩大公司生产规模，促进核心生产技术成熟度的提高，使产品的性能更加优良，工艺更加稳定，并且符合公司中长期发展计划，有利于公司在半导体与泛半导体不同领域内实现横向发展。从而提升薄膜沉积设备市场占有率，促进国内薄膜沉积设备与技术的发展，从而进一步实现半导体及泛半导体行业高端装备的国产化替代，打破半导体及泛半导体行业内进口设备的垄断地位，彰显国内企业研发、技术及生产实力。

而集成电路高端装备产业化应用中心项目的建设将重点开发集成电路配套高端装备，深入研究 ALD 技术在集成电路领域的运用，并进行单片及批量机型 ALD 设备开发、晶圆传输系统开发，既可为我国集成电路产业的发展奠定基础，又不断拓宽公司产品类型，提升公司核心竞争力。

关于未来发展战略，微导纳米表示，公司以ALD 技术为核心，在继续保持光伏领域的技术和市场优势的前提下，扩大在集成电路、柔性电子和其他新能源等领域关键装备产品，通过打造先进的ALD 技术产业化研发中心，针对市场发展和需求开发专用于产业化的镀膜解决方案和产品，引领创新性应用，不断向产品横向以及纵深发展；同时，择机通过收购等方式，对核心技术上下游关键工艺进行技术整合，针对新兴产业形成一整套技术解决方案，力争成为全球微纳制造装备领导者。（校对/Lee）