国内厂商纷纷加码含氟电子特气，如何避免同质化竞争？

国内厂商纷纷加码含氟电子特气，如何避免同质化竞争？goods south field ，近年来，随着中美贸易战的持续升级以及国内半导体产业的蓬勃发展，半导体上游设备、材料依赖进口的情况引起了产业重视，为保证供应链稳定，上游设备、材料纷纷开启国产化进程，国产产品大规

，近年来，随着中美贸易战的持续升级以及国内半导体产业的蓬勃发展，半导体上游设备、材料依赖进口的情况引起了产业重视，为保证供应链稳定，上游设备、材料纷纷开启国产化进程，国产产品大规模导入国内晶圆厂，电子特气领域同样如此。

电子特气国产进行时

据资料显示，电子特气是仅次于大硅片的第二大市场需求的半导体材料，电子气体在半导体材料市场占比达14%。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺。

不过，与众多半导体产品一样，电子特气市场也被空气化工集团、液化空气集团、大阳日酸株式会社、普莱克斯集团、林德集团等国外大型企业牢牢占据。

根据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的特种气体，我国仅能生产约20%的品种，其余均依赖进口。目前我国国内企业所能批量生产的特种气体仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。

业内人士表示，在贸易战和疫情的影响下，上游材料国产化成趋势，而国内特种气体在晶圆厂占比本就不高，气体质量稳定、供应稳定是关键，为保证供应链的安全，下游晶圆厂都在培育本土供应链。

在下游晶圆厂的支持下，国内电子特气厂商进展非常迅速。目前，国内的电子特气厂商主要有派瑞特气（718所）、昊华科技（黎明院）、绿菱气体、金宏气体、华特气体、南大光电、雅克科技，其产品均已经进入国内晶圆厂。

此外，2017年以来，凯美特气、和远气体、侨源气体等本土气体厂商以及杭氧股份、四川空分集团等特气设备厂商纷纷布局电子特气领域。

含氟电子特气成国内厂商布局重点

在众多电子气体中，集成电路产业用量最大便是的氮气。据业内人士称，由于氮气较为稳定，不易与其他物质发生反应，价格也较为便宜，所以晶圆厂保护气体主要以氮气为主，几乎所有的制造过程都需要使用大量氮气。

值得一提的是，高纯氮气的获取也十分简单，主要以空气为原料，对空气进行分离，就能够得到大量氮气，对分离出的氮气再进行纯化，就能够得到高纯度的氮气。

因此，虽然氮气是晶圆厂用量最大的气体，但其技术壁垒较低，市场竞争激烈，包括金宏气体、和远气体、凯美特气在内的国内氮气供应商均朝高附加值更高的电子特气领域发展。

在众多特种气体中，由于含氟电子特气技术壁垒较高、市场需求持续增长、价格稳定，成众多国内厂商青睐的对象。

以三氟化氮为例，三氟化氮作为晶圆厂和显示面板厂必不可少的特种气体，随着国内晶圆厂及高世代面板厂的投产，其用量将较快增长。

据业内人士称，目前市场上三氟化氮的主力供应商为韩国SK、日本KDK以及国内718所、大成黎明（黎明院和韩国大成气体的合资项目）等，其中，718所已经是国内最大三氟化氮供应商，已经覆盖了国内所有大厂。

资料显示，718所隶属于世界500强中国船舶集团有限公司，派瑞特气隶属于718所，2019年，七一八所位列全球电子特气供应商第8位，属于国内唯一进榜企业。

派瑞特气拥有全球唯一的单条年产能超过3000吨的高纯三氟化氮气体生产线以及国内唯一的高纯六氟化钨规模化生产线，其三氟化氮、六氟化钨在国内市场覆盖率达95%以上，国际市场覆盖率达30%以上。

黎明院是昊华科技的子公司，是国内知名的含氟电子特气供应商，目前黎明院与韩国大成全体（DIG）合作开展的2000吨/年三氟化氮项目已经全面达产。

2020年3月，黎明院宣布投建4600吨/年特种含氟电子气体项目，产品为3000吨三氟化氮、1000吨四氟化碳和600吨六氟化硫，该部分产能将于明年开出。

2017年，雅克科技通过收购科美特进入含氟电子特气领域，主要产品为六氟化硫和四氟化碳。同年，科美特启动了新产品三氟化氮的开发工作，并宣布投建年产3500吨半导体用电子级三氟化氮气体生产线技改项目，不过，截止目前，该项目尚在建设中。

此外，南大光电也通过收购三氟化氮、六氟化硫生产商飞源气体，进入含氟电子特气领域，飞源气体目前的三氟化氮产能为年产2000吨，预计2021 年总产量达 3000 吨。

2019年，南大光电宣布扩建含氟电子特种气体项目，建设年产电子级三氟化氮2300吨、六氟化硫1500吨。建设完成后，年产电子级三氟化氮3300吨、六氟化硫3000吨，截至目前，该项目也处于建设中。

写在最后

据业内人士称，2019年三氟化氮因产量增加，价格已经出现下滑，基于目前的市场情况，价格或将继续下降。

值得注意的是，国内的特种气体生产公司对三氟化氮的扩产还在继续，显然，存在产能重置现象，同质化问题严重。

正帆科技曾表示，产品品种和技术水平的同质化获将导致行业内公司采用降价的手段来赢得市场进入机会，而低价竞争会引发恶性循环，导致行业内公司难以从产品生产中获得长期利益。

事实上，产品同质化是半导体行业普遍存在的现象，率先量产导入客户生产线的企业或许能享受到蓝海市场，而落后一步的企业却只能面临产能刚刚大幅开出，市场却已经是一片红海，只能通过打价格战取得市场份额，行业洗牌也由此开始。

作为一个基本被国外巨头垄断的行业，国内电子特气企业可以选择其他的道路。业内人士指出，晶圆厂所需特种气体的品种很多，需求也很大，目前市场上还有80%份额品种在外资厂商手中，国内特种气体厂商应该朝不同品种的气体做突围。（校对/Candy）