华海清科CMP设备在中芯国际生产晶圆突破百万片

华海清科CMP设备在中芯国际生产晶圆突破百万片蓝色生死恋在线观看 图片来源： 华海清科 （文/Jimmy），华海清科官方公众号消息，7月30日，华海清科CMP国产设备在单一客户中芯国际生产晶圆突破百万片。 据悉，从2015年8月4日华海清科第一台设备进入中芯国际，与中芯

图片来源： 华海清科

（文/Jimmy），华海清科官方公众号消息，7月30日，华海清科CMP国产设备在单一客户中芯国际生产晶圆突破百万片。

据悉，从2015年8月4日华海清科第一台设备进入中芯国际，与中芯国际团队密切合作，深入交流，短短半年通过验证，迅速取得了多台CMP订单。CMP工艺做到了全覆盖，包括SI，ILD，STI，BSI，W，POLY，Cu，不断刷新着国产CMP设备在中芯量产破百片、破千片、破万片，突破百万片的加速度，同时也打破了CMP设备依靠国外进口壁垒。目前，华海清科CMP设备已批量进入国内各大集成电路生产线。

公开资料显示，华海清科成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。

华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。