电子研磨废水回用系统积极践行环保节水理念

20世纪90年代以来，全球电子产业蓬勃发展，而经过多年的改革开放，我国的电子工业已逐渐成为“世界电子制造业的加工厂”。目前，国家正在大力发展晶圆厂，在晶圆棒和晶圆的制造过程中，在切割、研磨、划线、减薄、化学研磨平整(CMP)等工序后的清洗过程中会产生研磨废水。研磨废水中含有少量的研磨膏、被研磨下来的微小颗粒和清洁剂，但其中的水质相对较好，电导率和TOC含量较低，具有回收利用的价值。

电子研磨废水回用的难点在于，废水中的颗粒物非常微小，使用传统的介质过滤是没有办法去除的。现有技术一般采用混凝沉淀进行预处理，然后采用高分子有机物制成的超滤技术，利用有机超滤膜孔径小的特点，拦截研磨废水中的微小颗粒，回收合格的产水。但是，由于研磨废水中颗粒的尖锐性和有机超滤的机械强度不足，容易断丝，过滤效果差。此外，有机超滤对进水中的SS和TOC的耐受性有限，对预处理要求严格，化学稳定性有限，运行故障后膜性能恢复不理想，所以有机超滤的使用故障率高，更换频繁。因此，如何有效解决处理研磨废水过滤效果差的问题是人们关注的问题。

莱特莱德电子研磨废水回用系统工艺合理，运行持久，经济效益显著，环境风险性能可控，整体布局高度集成、美观。系统采用Neterfo极限分离和MVR蒸发的工艺，结合高效软化和硬化系统，降低了膜系统的结垢和污染风险，保证了系统的稳定运行。Neterfo极限分离系统简单的模块化设计使其运行更加灵活，能够实现电子研磨废水回用和近零排放处理。

技术的不断创新增加了我国对电子设备的需求不断增加，而电子研磨废水回用系统符合我国当前的环保节水理念。

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